Ulrich Hilleringmann
Vieweg+Teubner Verlag
2006e druk, 2006
9783835100039
Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Specificaties
Paperback, 272 blz.
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Duits
Vieweg+Teubner Verlag |
2006e druk, 2006
ISBN13: 9783835100039
Rubricering
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Samenvatting
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Specificaties
ISBN13:9783835100039
Taal:Duits
Bindwijze:paperback
Aantal pagina's:272
Uitgever:Vieweg+Teubner Verlag
Druk:2006
Inhoudsopgave
Der Begriff 'Mikrosystemtechnik' - Aufbau eines Mikrosystems - Prozesstechnik - Basisprozesse der Mikrosystemtechnik - Sensor- und Aktoreffekte - Anwendungen der Mikrosystemtechnik - Hybride Systeme