Green Etching Techniques for MEMS Applications

Sustainable, Fluorine-Free Etching Methods for Micro-Electro-Mechanical Systems

Specificaties
Gebonden, 122 blz. | EN
Taylor & Francis Ltd | e druk, 2025
ISBN13: 9781041144960
Rubricering
Taylor & Francis Ltd e druk, 2025 9781041144960
€ 119,30
Levertijd ongeveer 15 werkdagen

Samenvatting

Green Etching Techniques for MEMS Applications delivers an essential and comprehensive exploration of sustainable, fluorine-free etching methodologies for micro-electro-mechanical systems (MEMS).

Specificaties

ISBN13:9781041144960
Taal:EN
Bindwijze:Gebonden
Aantal pagina's:122
Uitgever:Taylor & Francis Ltd
€ 119,30
Levertijd ongeveer 15 werkdagen

Rubrieken

    Personen

      Trefwoorden

        Green Etching Techniques for MEMS Applications